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半自動12英寸快速退火爐RTP
- 品牌：量伙
- 型號： 12-RTP
- 產(chǎn)地：上海 浦東新區(qū)
- 供應商報價：面議
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量伙半導體設備（上海）有限公司
更新時間：2021-05-07 08:36:02 -
銷售范圍售全國
入駐年限第5年
營業(yè)執(zhí)照已審核
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詳細介紹
設備規(guī)格:
適應于 2英寸-12英寸 晶圓或者至多支持 300mmx300mm 樣品；
退火溫度范圍 300℃-1000℃；
升溫速率 ≦100℃/sec(裸片)；
溫度均勻性 ≦±1%；
真空腔體（可選配常壓腔體或正壓腔體）；
冷卻方式包括水冷和氮氣吹掃；
MFC控制，3-5路制程氣體。
應用領域:
快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；
離子注入/接觸退火；
金屬合金；
熱氧化處理；
化合物合金（砷化鎵、氮化物等）；
多晶硅退火；
太陽能電池片退火；
高溫退火；
高溫擴散。
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