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    355nm大功率脈沖激光器

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    詳細(xì)介紹


    激光器特點(diǎn)


    l 長(zhǎng)期工作穩(wěn)定性高

    l RS232控制,外部GATE,TRIGGER控制

    l 支持PWM功率控制

    l LD模塊可現(xiàn)場(chǎng)更換

    l TEM00基模輸出(M2<1.3)

    l 體積小,結(jié)構(gòu)緊湊

    l 重復(fù)頻率30kHz-100kHz可調(diào) 



    應(yīng)用范圍


    l 薄膜蝕刻

    l 材料微加工

    l 微孔加工

    l 晶圓切割

    l 科學(xué)研究等


    l 激光標(biāo)記

    技術(shù)參數(shù)

    型號(hào)

    RM355Q-3W

    波長(zhǎng)

    355nm

    功率

    3W@30KHz

    單脈沖能量

    100μJ@30kHz

    頻率

    30~100kHz

    脈寬

    <20ns@30KHz

    光斑模式

    TEM00 (M2<1.3)

    光束直徑

    0.5±0.1mm

    功率穩(wěn)定性

    <3% RMS over 8 hours

    脈沖穩(wěn)定性

    <3% RMS over 10mins

    光點(diǎn)穩(wěn)定性

    <50μrad

    光束發(fā)散角

    <2mrad (full angle)

    光斑圓度

    >90%

    控制方式

    RS232, Gate, Trigger

    制冷方式

    Air-cooling

    偏振方向

    Horizontal

    偏振比

    >100:1

    環(huán)境溫度

    15°C ~ 35°C

    相對(duì)濕度

    10% ~ 80%(無(wú)結(jié)露)

    預(yù)熱時(shí)間

    <15mins

    工作電壓

    90V ~ 260V



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