反射式膜厚儀 QUASAR-R100系列

 QUASAR-R100 是一款體積小巧的光譜反射式膜厚、折射率測量儀器，操作簡單，極易上手，應(yīng)用廣泛，快速準確的提供各種薄膜厚度的測量，如氧化物、氮化物、多晶硅、非晶硅、聚酰亞胺、透明導電層、光刻膠等介質(zhì)薄膜、半導體薄膜以及各種涂層。

產(chǎn)品特點

多參數(shù)測量

可測量材料厚度、折射率（Refractive Index）、 消光系數(shù)（Extinction Coefficient）和反射率。

各種形狀樣品測量

可測量例如4~8英寸的晶圓、方形樣品或其他各種不規(guī)則形狀樣品。

軟件功能豐富

友善的用戶界面以及靈活豐富的軟件功能，各種豐富的數(shù)據(jù)分析及查看功能。

簡單、易用

測量流程簡單，用戶極易上手建立測量程式。

產(chǎn)品參數(shù)

★Si基底上對厚度約500nm的SiO2薄膜樣品連續(xù)測量30次數(shù)據(jù)的標準偏差

定制功能

• 可根據(jù)客戶需求搭配自動運動平臺

• 可根據(jù)客戶需求配置小光斑