四探針導(dǎo)電材料電阻率測(cè)試儀

四探針導(dǎo)電材料電阻率測(cè)試儀測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)與適用材料行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：需確認(rèn)儀器是否符合 YS/T 587.6-2006、GB/T 24521-2018 等標(biāo)準(zhǔn)，滿足相關(guān)炭素材料測(cè)試要求。

1.雙電測(cè)四探針法測(cè)試薄層樣品方阻計(jì)算和測(cè)試原理如下：

直線四探針測(cè)試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據(jù)物理基礎(chǔ)和電學(xué)原理：

當(dāng)電流通過1、4探針，2、3探針測(cè)試電壓時(shí)計(jì)算如下：

四探針測(cè)試結(jié)構(gòu)

當(dāng)電流通過1、2探針，4、3探針測(cè)試電壓時(shí)計(jì)算如下：從以上計(jì)算公式可以看出：方阻RS只取決于R1和R2，與探針間距無關(guān)．針距相等與否對(duì)RS的結(jié)果無任何影響，本公司所生產(chǎn)之探針頭全部采用等距，偏差微小，對(duì)測(cè)試結(jié)果更加。

1.1.開機(jī)預(yù)熱：將220V電源插頭插入電源插座，打開電源開關(guān)，讓儀器預(yù)熱15分鐘，保證測(cè)試數(shù)據(jù)穩(wěn)定。若測(cè)試儀無法正常啟動(dòng)，請(qǐng)按以下步驟檢查：

①檢查電源線是否接觸良好；

②檢查后面板上的電源開關(guān)是否已經(jīng)打開

③檢查保險(xiǎn)絲是否熔斷，如有必要，請(qǐng)更換保險(xiǎn)絲

④ 如經(jīng)上述檢查無誤后，測(cè)試儀仍未正常啟動(dòng)，請(qǐng)聯(lián)系本公司進(jìn)行解決。

1.2.準(zhǔn)備好被測(cè)物，鏈接好測(cè)試探頭，把測(cè)試探頭接口與主機(jī)接口相連接，并鎖定，防止松動(dòng)或接觸不良而對(duì)測(cè)試結(jié)果造成影響.

1.3.接通電源，開啟電源開關(guān)，待儀器液晶顯示屏上顯示出廠家和產(chǎn)品信息后，如圖3，按“顯示”鍵進(jìn)入，

1.4.進(jìn)入測(cè)試功能界面如圖4、圖5；如測(cè)試方阻時(shí)，請(qǐng)選擇液晶顯示屏又側(cè)對(duì)應(yīng) 的功能按鍵“方阻”，則進(jìn)入方阻測(cè)試界面；如測(cè)試其他材料時(shí)，請(qǐng)選擇“材料”則進(jìn)入材料電阻，電阻率，電導(dǎo)率測(cè)試儀界面。

1.5.設(shè)置好被測(cè)物所需之參數(shù)，把被測(cè)物放于測(cè)試治具平臺(tái)上操作，測(cè)試完畢直接顯示測(cè)試數(shù)據(jù)。如配置軟件，軟件操作說明書同安裝軟件在一起，請(qǐng)注意查看操作步驟.

以下分別講解方阻和材料測(cè)試的設(shè)置

四探針雙電方阻測(cè)試步驟上述步驟中1項(xiàng)，使用前期準(zhǔn)備把被測(cè)物測(cè)試所需要之參數(shù)數(shù)據(jù)設(shè)定：

依據(jù)不同之測(cè)試樣品，選擇被測(cè)試電流，電流設(shè)置：按方向鍵移動(dòng)光標(biāo)至“電流”功能，按“設(shè)置”鍵進(jìn)入；再按“左右”方向鍵選擇電流數(shù)據(jù)，選擇完畢后按“確定”鍵進(jìn)行確認(rèn)。按照以上步驟和方法選擇電壓、長(zhǎng)度單位、探針形狀設(shè)定、溫度.

探針間距數(shù)據(jù)的輸入，探針間距出廠時(shí)已經(jīng)標(biāo)定，無需再次測(cè)量，探針頭上有詳細(xì)的探針數(shù)據(jù)資料，探針間距的設(shè)置：將光標(biāo)移動(dòng)至“探針間距”按“設(shè)置”鍵進(jìn)入，通過面板上面的“數(shù)字”按鍵輸入數(shù)據(jù)按“確定”鍵進(jìn)行確認(rèn)；按照以上方法和步驟設(shè)定”厚度“，注意厚度和探針間距修正系數(shù)表已經(jīng)設(shè)置在儀器程序中，自動(dòng)修正，無需再次輸入和查詢表格。

2.3.測(cè)試探頭和測(cè)試平臺(tái)操作

選配測(cè)試平臺(tái)的將被測(cè)物放在測(cè)試平臺(tái)上，調(diào)節(jié)探頭探針與樣品良好接觸，探頭有二種，一種是探針是彈簧針型，一種是硬針而探頭內(nèi)腔有彈簧；探頭有方型和直線型兩種結(jié)構(gòu)；調(diào)節(jié)測(cè)試平臺(tái)上的水平定位角，保證水平儀水準(zhǔn)在中心位置；放置好被測(cè)物品，后壓下探頭至被測(cè)物，帶數(shù)據(jù)穩(wěn)定后讀取方阻測(cè)試時(shí)，在測(cè)試時(shí)電流的選擇也不同根據(jù)國(guó)標(biāo)GB/T1552-1995和根據(jù)ASTM F374-84標(biāo)準(zhǔn)方法測(cè)量方塊電阻所需要的電流值如下表所示

方塊電阻測(cè)試時(shí)電流量程選擇表

方阻測(cè)試時(shí)根據(jù)用戶所選擇的電壓測(cè)量低壓6V，中壓15V，高壓32V；材料測(cè)試的時(shí)候一直是6V

材料電阻測(cè)試步驟：操作步驟及流程本機(jī)可以依據(jù)不同測(cè)試產(chǎn)品選擇配置不同的測(cè)試治具，以下舉例操作說明在開機(jī)界面按下按鍵板上的“顯示”鍵，進(jìn)入測(cè)量界面。如圖1如圖2，在液晶顯示屏右側(cè)有4個(gè)藍(lán)色功能按鍵，當(dāng)測(cè)材料電阻率時(shí)，請(qǐng)選擇 “材料”按鍵 ，進(jìn)入材料測(cè)試主界面.  在該界面下通過按下按鍵板上的上下左右鍵，可以移動(dòng)藍(lán)色光標(biāo)選擇相應(yīng)的參數(shù)。如圖2，將移動(dòng)到某一參數(shù)的位置，按下“設(shè)置”鍵，光標(biāo)將變?yōu)樯钏{(lán)色。此時(shí)通過上下左右鍵和數(shù)字鍵可以對(duì)相應(yīng)的參數(shù)進(jìn)行設(shè)置，設(shè)置完畢后按“確定”鍵返回。接線方式，把主機(jī)與夾具連接線，連接好并固定住，取試樣，試樣試驗(yàn)前的處理依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行，把樣品放于固定治具夾口內(nèi)，把HD和LD接口分別與治具接口連接（不分順序）如圖3；另外兩個(gè)接口與探頭接線位置連接，后，放入被測(cè)樣品，輸入高度數(shù)據(jù)（為探針之間的間距），其他數(shù)據(jù)為樣品本身尺寸。試樣固定住后，加壓探頭探針至被測(cè)樣品表面，帶數(shù)據(jù)穩(wěn)定后讀數(shù). 按下“放大”鍵對(duì)應(yīng)的按鍵可以對(duì)當(dāng)前界面的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行放大待參數(shù)設(shè)置完畢，開始測(cè)量，把測(cè)試獲得的數(shù)據(jù)寫入試驗(yàn)報(bào)告中以下設(shè)置和功能屬于配置操作軟件機(jī)型使用，如您購買的無電腦操作軟件的話，請(qǐng)勿設(shè)置.接口：可選擇“USB”和“232”兩種模式。根據(jù)用戶使用的接口類型進(jìn)行選擇。測(cè)試功能：可選擇：“RρK”（顯示電阻，電阻率，電導(dǎo)率），“R”（只顯示電阻），“ρ”（只顯示電阻率，“K”（只顯示電導(dǎo)率）3種顯示模式。

維護(hù)和保養(yǎng)使用者的維護(hù)為了防止意外發(fā)生，請(qǐng)不要接觸機(jī)內(nèi)部件。本機(jī)器內(nèi)部所有的零件，不需使用者的維護(hù)。如果機(jī)器有異常情況發(fā)生，請(qǐng)直接與北廣儀器公司廠家聯(lián)系或其指定的經(jīng)銷商給予維護(hù)。使用者的修改使用者不得自行更改機(jī)器的線路或零件，如被更改機(jī)器后保修則自動(dòng)失效并且本公司不負(fù)任何事故責(zé)任。在保修內(nèi)使用未經(jīng)我公司認(rèn)可的零件或附件造成故障也不予保證。如發(fā)現(xiàn)送回檢修的機(jī)器被更改，將機(jī)器的電路和零件修復(fù)回原來設(shè)計(jì)的狀態(tài)，并收取修護(hù)費(fèi)用。測(cè)試工作站工作位置工作站的位置選擇必須安排在一般人員非必經(jīng)的處所，使非工作人員選離工作站。如果因?yàn)闂l件限制的安排而無法做到時(shí)，必須將工作站與其這它設(shè)施隔開并且特別標(biāo)明“測(cè)試工作站”。如果工作站與其它作業(yè)站非常接近時(shí)，必須特別注意安全的問題。在測(cè)試時(shí)必須標(biāo)明“測(cè)試執(zhí)行中，非工作人員請(qǐng)勿靠近” 

輸入電源輸入：220V±10%  使用頻率：50Hz工作場(chǎng)所盡可能使用非導(dǎo)電的工作桌工作臺(tái)。操作人員和待測(cè)物之間不得使用任何金屬。操作人員的位置不得有跨越待測(cè)物去操作或調(diào)整測(cè)試儀器的現(xiàn)象。測(cè)試場(chǎng)所必須隨時(shí)保持整齊、干凈，不得雜亂無章。測(cè)試站及其周邊之空氣中不能含有可燃?xì)怏w或在易燃物質(zhì)。

人員資格

本儀器為精密儀器，必須由訓(xùn)練合格的人員使用和操作。

安全守則

操作人員必須隨時(shí)給予教育和訓(xùn)練，使其了解各種操作規(guī)則的重要性，并依安全規(guī)則操作。

衣著規(guī)定操作人員不可穿有金屬裝飾的衣服或戴金屬手飾和手表等，這些金屬飾物很容易造成意外的感電。

醫(yī)學(xué)規(guī)定不能讓有心臟病或配戴心律調(diào)整器的人員操作。

測(cè)試安全程序規(guī)定一定要按照規(guī)定程序操作。操作人員必須確定能夠完全自主掌控各部位的控制開關(guān)和功能。

安全要點(diǎn)合格的操作人員和不相關(guān)的人員應(yīng)遠(yuǎn)離測(cè)試區(qū)。萬一發(fā)生問題，請(qǐng)立即關(guān)閉電源并及時(shí)處理故障原因。

儀器安裝要點(diǎn)安裝簡(jiǎn)介本章主要介紹產(chǎn)品的拆封、檢查、使用前的準(zhǔn)備等的規(guī)則。拆封和檢查產(chǎn)品是包裝在一個(gè)使用木箱泡綿保護(hù)的包裝箱內(nèi)，如果收到時(shí)的包裝箱有破損，請(qǐng)檢查機(jī)器的外觀是否有無變形、刮傷、或面板損壞等。如果有損壞，請(qǐng)立即通知制造廠或其經(jīng)銷商。并請(qǐng)保留包裝箱和泡綿，以便了解發(fā)生的原因。我們的服務(wù)中心會(huì)幫您解決。在未通知制造廠或其經(jīng)銷商前，請(qǐng)勿立即退回產(chǎn)品。使用前的準(zhǔn)備 輸入電壓輸入220V，有穩(wěn)定的電流和電壓環(huán)境

使用的周圍環(huán)境條件

。易燃易爆空氣環(huán)境            。不穩(wěn)定的工作臺(tái)面.

。陽光直射的地方.             。潮濕的地方.

。腐蝕性的空氣環(huán)境.           ?？諝馕廴净覊m重.

儲(chǔ)存和運(yùn)輸周圍環(huán)境儀器可以在下列的條件下儲(chǔ)存和運(yùn)輸：

周圍溫度……………………………………10°到60°C

高度………………………………………………7620公尺（25000英尺）

本機(jī)必須避免溫度的急劇變化，溫度急劇變化可能會(huì)使水氣凝結(jié)于機(jī)體內(nèi)部。

   材料類型：適用于石墨、碳素粉末、鋰電池材料、粉末冶金等導(dǎo)電或半導(dǎo)體粉末的測(cè)試。

四探針導(dǎo)電材料電阻率測(cè)試儀自動(dòng)化與功能性自動(dòng)化操作高端型號(hào)  北廣精儀儀器設(shè)備公司支持自動(dòng)加壓、脫模、數(shù)據(jù)采集及生成曲線圖譜，適合批量測(cè)試需求；手動(dòng)型號(hào)成本較低。  

   附加功能部分儀器集成溫度、壓強(qiáng)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，或支持高溫測(cè)試適用于模擬極端環(huán)境下的電性能分析。

選型建議

1. 明確測(cè)試需求

 若需高溫環(huán)境模擬（如半導(dǎo)體材料），優(yōu)先選擇 北廣精儀 高溫型號(hào)。  

2. 關(guān)注兼容性與擴(kuò)展性  

   確認(rèn)儀器是否支持選配模具或傳感器（如壓力、溫度），以適應(yīng)多樣化測(cè)試需求。  

3. 售后服務(wù)與標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證  

   優(yōu)先選擇提供計(jì)量證書的品牌標(biāo)配計(jì)量證書），確保數(shù)據(jù)權(quán)威性。  

   考慮廠商技術(shù)支持能力，如北廣精儀等企業(yè)提供定制化服務(wù)。

 四、注意事項(xiàng)

誤差來源：粉末壓實(shí)度、模具清潔度、環(huán)境溫濕度均可能影響結(jié)果，需規(guī)范操作流程。

校準(zhǔn)維護(hù)：定期使用標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)（如 1-5 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)電阻選配），確保長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

如需進(jìn)一步了解具體型號(hào)參數(shù)或供應(yīng)商信息，可參考原文鏈接或聯(lián)系廠商獲取技術(shù)文檔。

半導(dǎo)電材料電阻率測(cè)試儀如何選擇

半導(dǎo)電材料電阻測(cè)試儀時(shí)需綜合考慮測(cè)量需求、儀器性能及使用環(huán)境等因素。以下是關(guān)鍵選擇要點(diǎn)：

一、明確測(cè)量需求

1. 測(cè)量范圍與精度

   半導(dǎo)電材料（如橡塑護(hù)套、電纜接管）的電阻值通常介于 \(10^{-4} \Omega \cdot \text{cm}\) 至 \(10^8 \Omega \cdot \text{cm}\) 之間。需確保測(cè)試儀的測(cè)量范圍覆蓋實(shí)際應(yīng)用需求。例如，若需測(cè)量中高值電阻（\(10^6 \sim 10^8 \Omega\)），應(yīng)選擇量程擴(kuò)展能力強(qiáng)的儀器，并關(guān)注其誤差范圍（如2兆歐檔誤差±0.5%讀數(shù)+2字）。  

   精度要求：高精度場(chǎng)景（如實(shí)驗(yàn)室）需選擇誤差更小的儀器，而常規(guī)檢測(cè)可適當(dāng)放寬精度要求。

2. 測(cè)試電流適配性

   半導(dǎo)電材料對(duì)測(cè)試電流敏感，需根據(jù)材料特性選擇電流檔位。例如，某些儀器提供1微安、0.1微安等多檔位輸出，避免電流過大導(dǎo)致材料損傷或測(cè)量失真。

二、核心功能與技術(shù)特性

1. 四端子測(cè)量法  

 采用四端子法可消除接觸電阻的影響，提升測(cè)量準(zhǔn)確性，尤其適用于微電阻或高阻值測(cè)量場(chǎng)景。相較傳統(tǒng)兩線法或兆歐表，四線法更適合半導(dǎo)電材料的精密檢測(cè)。

2. 環(huán)境適應(yīng)性

   儀器需在特定溫濕度條件下工作（如溫度23±2°C、濕度<65%），選擇時(shí)需確認(rèn)其穩(wěn)定性和抗干擾能力，避免環(huán)境波動(dòng)導(dǎo)致數(shù)據(jù)偏差。部分儀器內(nèi)置溫度補(bǔ)償功能，可減少溫度變化對(duì)電阻值的影響。

3. 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與顯示  

   支持?jǐn)?shù)字顯示、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)及導(dǎo)出功能的儀器更便于后續(xù)分析。例如，3位數(shù)字顯示屏和自動(dòng)過載提示能提升操作效率。

 三、儀器類型與便攜性

1. 手持式 vs 臺(tái)式

   手持式：適合現(xiàn)場(chǎng)快速檢測(cè)，便攜性強(qiáng)，但可能犧牲部分精度或功能。  

   臺(tái)式：實(shí)驗(yàn)室場(chǎng)景優(yōu)先選擇，通常具備更高精度和擴(kuò)展功能（如多檔位電流調(diào)節(jié)）。

2. 配件兼容性

   若需測(cè)量特殊形狀或尺寸的樣品（如扁鋼接地體），需搭配專用取樣器（如半導(dǎo)電橡塑電阻儀取樣器）以實(shí)現(xiàn)測(cè)量。

選擇通過國(guó)家或國(guó)際認(rèn)證的儀器（如符合GB/T標(biāo)準(zhǔn)），確保安全性與可靠性。例如，部分儀器明確標(biāo)注符合電力行業(yè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)（如DL/T 845.4-2004）。

2. 品牌與技術(shù)支持

   優(yōu)先選擇技術(shù)成熟、提供售后支持的品牌  北廣精儀儀器設(shè)備有限公司的設(shè)備提供完整的技術(shù)支持和售后服務(wù)，保障儀器的長(zhǎng)期穩(wěn)定使用。

五、操作與維護(hù)便利性

1.人機(jī)交互設(shè)計(jì)

   直觀的菜單操作、旋轉(zhuǎn)鼠標(biāo)輸入或自動(dòng)量程切換功能可簡(jiǎn)化操作流程，減少人為誤差。

2. 耐用性與維護(hù)

   選擇具備堅(jiān)固外殼、防塵防水（如IP54等級(jí)）的儀器，適應(yīng)戶外或復(fù)雜工業(yè)環(huán)境。同時(shí)，關(guān)鍵部件采用進(jìn)口元件的儀器壽命更長(zhǎng)。

六.應(yīng)用場(chǎng)景擴(kuò)展

若需同時(shí)測(cè)量土壤電阻率或泄漏電流，可考慮多功能測(cè)試儀，但需確認(rèn)其是否兼容半導(dǎo)電材料特性。

總結(jié)建議

步驟1：明確被測(cè)材料的電阻范圍及測(cè)試環(huán)境，選擇匹配量程和精度的儀器。  

步驟2：優(yōu)先采用四端子法的設(shè)備，確保測(cè)量準(zhǔn)確性。  

步驟3：根據(jù)場(chǎng)景（現(xiàn)場(chǎng)/實(shí)驗(yàn)室）選擇便攜式或高精度臺(tái)式儀器。  

步驟4：核查品牌資質(zhì)與售后服務(wù)，避免后續(xù)使用問題。  

例如，北廣精儀的的半導(dǎo)電電阻測(cè)試適合中高阻值測(cè)量，而需要更大電流擊穿氧化膜的場(chǎng)景可參考回路電阻測(cè)試儀的選型思路（如連續(xù)可調(diào)電流設(shè)計(jì)）。

所給出的某一合適值，測(cè)量并記錄所得數(shù)據(jù)，所有測(cè)試數(shù)據(jù)至少應(yīng)取三位有效數(shù)字。改變電流方向，測(cè)量、記錄數(shù)據(jù)。關(guān)斷電流，搶起探針裝置，對(duì)仲裁測(cè)量，探針間距為1.59

規(guī)格及型號(hào)

本儀器本儀器采用四探針雙電測(cè)量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示，無需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電阻率單位自動(dòng)選擇，儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，運(yùn)輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成報(bào)表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率，壓強(qiáng) 配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購.

雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。

導(dǎo)體材料電阻率測(cè)試儀GB/T 11073硅片徑向電阻率變化的測(cè)量方法提要探針與試樣壓力分為小于0.3N及0.3 Nˉ0.8N兩種。以下文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用商成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。但凡注日期的引用文件，其隨后所有的修改單(不包括訂正的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的新版本。但凡不注日期的引用文件，其新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。GB/T 1552硅、儲(chǔ)單晶電阻率測(cè)定直排四探針法樣品臺(tái)和操針架樣品臺(tái)和探針架應(yīng)符合GB/T152 中的規(guī)定。樣品臺(tái)上應(yīng)具有旋轉(zhuǎn)360"的裝置。其誤差不大于士5"，測(cè)量裝置測(cè)量裝置的典型電路叉圖1，范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用直排四探針測(cè)量硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層薄層電阻的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量直徑大于15.9mm的由外延、擴(kuò)散、離子注人到硅片表面上或表面下形成的薄層的平均薄層電阻。硅片基體導(dǎo)電類型與被測(cè)薄層相反。適用于測(cè)量厚度不小于0.2 μm的薄層，方塊電阻的測(cè)量范圍為10A-5000n.該方法也可適用于更高或更低照值方塊電阻的測(cè)量，但其測(cè)量準(zhǔn)確度尚未評(píng)估。使用直排四探針測(cè)量裝置、使直流電流通過試樣上兩外探件，測(cè)量?jī)蓛?nèi)操針之間的電位差，引人與試樣幾何形軟有關(guān)的修正因子，計(jì)算出薄層電阻。覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測(cè)試采用四探針組合雙電測(cè)量方法，液晶顯示，自動(dòng)測(cè)量，自動(dòng)量程，自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.高集成電路系統(tǒng)、恒流輸出；選配：PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.

雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響.

標(biāo)準(zhǔn)要求：

該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，它與單電測(cè)直線或方形四探針相比，大大提高精確度，特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。