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    產(chǎn)品中心

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    美國膜康 用于半導(dǎo)體空氣分子污染的氣相色譜儀

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    產(chǎn)品特點(diǎn)

    用于檢測空氣分子污染物的 BASELINE? 9100 氣相色譜儀采用一流的高靈敏度光電離檢測 (HS-PID),可實(shí)現(xiàn)十億分之一 (ppb) 的檢測水平VOC 污染物可能會擾亂半導(dǎo)體生產(chǎn)。

    詳細(xì)介紹

    概述:

    用于檢測空氣分子污染物的 BASELINE? 9100 氣相色譜儀采用一流的高靈敏度光電離檢測 (HS-PID),可實(shí)現(xiàn)十億分之一 (ppb) 的檢測水平VOC 污染物可能會擾亂半導(dǎo)體生產(chǎn)。

    GC 可以檢測空氣中多種不同 VOC 并發(fā)出警報,包括:TVOC、丙酮、異丙醇、乙醇、苯、甲苯、乙苯、間+對二甲苯、鄰二甲苯、PGME、PGMEA、

    緊湊的尺寸和設(shè)計使該裝置非常適合放置在可移動的機(jī)架上,可以根據(jù)需要從一個房間移動到另一個房間進(jìn)行測試。

    一整套用戶可配置的數(shù)據(jù)收集、存儲和輸出使 GC 能夠以您的語言、您的方式進(jìn)行操作。 用戶可以配置可下載到 USB 驅(qū)動器的板載存儲、通過 LAN 或 RS-232 的 ASCII 結(jié)果、觸點(diǎn)閉合繼電器和 4-20 mA 模擬輸出,以便在需要時獲取所需的數(shù)據(jù)。


    VOC 檢測限低

    • 低于十億分之一 (ppb) 的檢測限

    • 其他化合物的干擾最小

    • GC 響應(yīng)速度快

    • 易于維護(hù)的高靈敏度光電離檢測器(HS-PID)

    多功能平臺

    •  彩色液晶顯示屏和觸摸屏,帶有易于使用的菜單

    •  尺寸小 (3U),可輕松安裝在機(jī)架上或集成在可移動推車上

    •  可編程警報指示是否存在污染

    •  通過 LAN、RS-232、可編程模擬輸出和可編程繼電器進(jìn)行靈活的數(shù)據(jù)存儲和輸出

    •  HS-PID 檢測器易于現(xiàn)場維護(hù)


    技術(shù)指標(biāo):

    BASELINE? 9100氣相色譜儀

    單位

    探測器

    按應(yīng)用選擇:
    火焰電離(FID)
    光電離(PID)
    高靈敏度PID(HS-PID)
    導(dǎo)熱系數(shù)(TCD)

    采樣

    單點(diǎn)或多點(diǎn)(4或8磅)內(nèi)部采樣器
    內(nèi)置泵可選
    可選的外部采樣器(基線9150),用于8個以上的采樣點(diǎn)

    適用于應(yīng)用的填料,微填料或毛細(xì)管

    連接數(shù)

    1/4或1/8 OD管壓縮配件或1/8遺產(chǎn)

    采樣

    內(nèi)部單點(diǎn)或多點(diǎn),泵可選

    警報器

    多級集中和故障警報,聲音和視覺

    校準(zhǔn)

    使用專用標(biāo)準(zhǔn)自動或手動

    校正方法

    氣瓶,滲透校準(zhǔn)器或響應(yīng)因子

    顯示

    7彩色液晶觸摸屏

    輸出/輸入,標(biāo)準(zhǔn)

    RS-232
    局域網(wǎng)/以太網(wǎng)
    2個USB端口

    輸出/輸入,可選

    I / O板:6個數(shù)字輸入,5個繼電器作為觸點(diǎn)閉合,1個模擬量
    模擬板:4或8可配置為4-20mA或0-20mA
    繼電器板:8或16個可編程觸點(diǎn)閉合

    工作溫度

    32 至 104°F (0 to 40°C)

    工作濕度

    0 to 95% (不凝結(jié))

    組態(tài)

    臺式電腦或19“ (48.3cm)機(jī)架安裝,3U

    其他規(guī)格(所有型號):

    物理規(guī)格

    • 5.12” H x 19” W x 16.3” D (13 cm x 48.26 cm x 41.40 cm)

    • <30 Lbs. (13.64 kg)

    電氣要求

    • 電壓: 100 - 230 VAC 50/60 Hz, 2 A


    配飾

    預(yù)防性維護(hù)套件

    • 包括手上可能需要的所有零件

    基線8990滲透校準(zhǔn)器

    • 用于滲透管而不是鋼瓶

    基準(zhǔn)9130樣品調(diào)節(jié)劑

    • 提供無顆粒,無水分的樣品

    基線9150多點(diǎn)采樣器

    • 擴(kuò)展9100 GC采樣點(diǎn)&gt; 8

    氣體發(fā)生器

    • 氫氣發(fā)生器

    • 零空氣發(fā)生器

    • 預(yù)防性維護(hù)套件
      • 包括現(xiàn)有所需的所有零件

    • 滲透校準(zhǔn)器
      • 用于滲透管而不是鋼瓶

    • 氣體發(fā)生器
      • 零空氣發(fā)生器

    • 服務(wù)與支持選項(xiàng)
      • 啟動和培訓(xùn),1 天現(xiàn)場

    服務(wù)與支持選項(xiàng)

    • 現(xiàn)場培訓(xùn)1天


    應(yīng)用領(lǐng)域:

    半導(dǎo)體空氣分子污染

    • 基本版本:TVOC、異丙醇、丙酮

    • 高級版本可包括:TVOC、乙醇、丙酮、異丙醇、苯、PGME、甲苯、乙苯、間+對二甲苯、PGMEA 和鄰Xyline


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