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反應式離子蝕刻系統(tǒng)
- 品牌:毅睿/芯壹方
- 型號: 定制 詳情15345079037
- 產地:福建 廈門
- 供應商報價:面議
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廈門毅??萍加邢薰?/a>
更新時間:2025-02-17 14:25:22
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銷售范圍售全國
入駐年限第1年
營業(yè)執(zhí)照已審核
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詳細介紹
反應式離子蝕刻系統(tǒng)
Description:
●Source : ICP 13.56 MHz1000-2000 WRF
●Bias:13.56 MHz 300 WRF
●自動壓力控制器
●2”-6” 水冷載臺
●氣體:H2,CF4,SF6,Ar,N2. O2 ... etc.,